Магнетронного распыления

Оружие магнетрона вращения Декстера (Z-Guns™) было определенно спроектировано для требовательных требований производителей носителей данных данных. Интеграция с новой системой или retrofitting существующая система облегчена нашим инновационным, запатентованным дизайном и интерфейсом контроля.

> Программируемая скорость: от 0 до 500 ОБОРОТОВ В МИНУТУ

> Превосходящая механическая надежность, чтобы противостоять высокой механической погрузке, созданной высокой силой manget взаимодействие множества/цели

> Высоко, радиальная анизотропия в удостоверении личности, MD и ПЕРЕДОЗИРОВКЕ во время бормочет

> Программируемая магнитная фазировка

> Власть: 120 60 гц VAC, 50 гц

> Оптимизированный для двойного бормотания катода

> Разработанный, чтобы модифицировать Intevac® 250B и Канон ANELVA 3010 систем

> Типичный Уровень Смещения: 61 A/kWsec в 3 кВт

> Бормочут власть 3 кВт

>, Станция включает два ротационных механизма, вакуумную палату, целевые зажимы, распорные детали и тупики

> Магнитное множество, способное к 2.625 в (67 мм) линейного путешествия

> Легкое целевое удаление без специального набора инструментов

>, Программируемые переменные рецепта включают: вращательная скорость, угол фазы и линейное положение