Атомно-силовой микроскоп (АСМ) для автоматизированного контроля пластины в линию

ВАФЛЯ КСЕНОНА - полностью автоматизированный промышленник, AFM специально разработанный, чтобы обратиться к поверхностной грубости, траншейной ширине, глубине и угловым измерениям на 200 мм & 300-миллиметровые вафли в производственной среде. Система обеспечивает превосходящую точность и точность nanometrology чем любой на рынке сегодня. Обеспечивая самую высокую резолюцию и самую низкую ценность сигмы датчика, вообразимую для воспроизводимости и воспроизводимости в мире, ВАФЛЯ КСЕНОНА - прекрасное решение для полупроводника и промышленности жесткого диска, которая, до сих пор, очень ограничила выбор индустриального сорта действующие инспекционные инструменты. Мы, Системы Парка, гордимся тем, если Вы с решением для метрологии Вы жаждали.

- Допустимый Объем выборки (300-миллиметровые Вафли)
- Допустимый Размер Просмотра (100 μm x 100 μm, Дополнительный: 200 μm x 200 μm)
- Автоматическое Получение и накопление данных & Анализ Высоких Траншейных Особенностей Формата изображения на Вафлях
- Акустическое Вложение со Встроенной Анти-Системой Изоляции Вибрации
- Специально разработанный для Производственного оборудования