Чистота прохождения конвейера

Чистая система Прохода Shuttleworth - полная гибкая производственная потрясающая транспортная система, которая позволяет любой пункт к любому направлению пункта работы в процессе (WIP) в плоском экране и полупроводнике fabs. Это является подходящим для, предают земле залив и intra гнедой транспорт и местное буферизование кассет и стручков выше потолка посредством использования отдельной миниокружающей среды.

Чистый Проход потрясающая транспортная система состоит из конвейеров Slip-Trak® в миниокружающей среде, приостановленной выше потолков и чистых и грязных областей потрясающего. Уберите вертикальные конвейеры используются, чтобы поставить кассеты и стручки к и получить их от cleanroom заливов или групп инструмента в заливах. Характерные особенности Shuttleworth Slip-Trak® конвейеры позволяют стручок произвольного доступа или кассету, буферизующую непосредственно на поверхности конвейера выше каждого залива или группы инструмента, гарантируя, что WIP немедленно доступен, когда инструменты являются эксплуатационными. Чистая миниокружающая среда Прохода оборудована ее собственными фильтрами и разработана, чтобы соединиться непосредственно с потрясающей системой HVAC. Это cleanroom совместимый с Классом 1 в области продукта в зависимости от определенных потребительских требований.