Электронный регулятор давления

Выхлопное Регулирование давления (EPC) управляет давлением палаты без клапана дросселя. Это обеспечивает поток однородности в палате и избегает нежеланных загрязнений частицы. Это разработано, чтобы обеспечить Продвинутые Решения в сегодняшней и завтрашней чистой технологии помещения.

Используя новую Технологию:
Alcatel Vacuum Technology взял системы КАРТЫ В МИНУТУ переменной скорости выгоды, чтобы проектировать систему регулирования давления инструмента гравюры, которая в состоянии удовлетворять потребности большинства инструментов гравюры и текущих заявлений. Управляя выхлопным давлением, EPC управляет турбо насосной скоростью, и наконец давлением палаты.

Высокоэффективная Система:
• Благодаря его быстрым приводам головок (клапан) время отклика может быть до 3s, в зависимости от процессов и конфигурации. Статическая ошибка (стабильность) никогда не превышает ± 2 % сетбола.
• Способ изучения делает запись влияния конфигурации трубопровода, которое увеличивает эффективность во время фаз регулирования.

Defectivity & усовершенствования MTBC:
• Цель EPC должна уменьшить defectivity при гравюре инструментов (алюминий, многозапечатлеть, и окись запечатлевает процесс).
• Другая цель должна увеличить инструменты MTBC, подавляя любое движение клапана регулирования. Этим путем никакая частица или побочный продукт не могут выйти из клапана, чтобы загрязнить вафлю или палату.