Оже-спектрометра (AES)

JAMP-9500F предлагает самое высокое пространственное разрешение, доступное в микрозонде: (минуты исследуют диаметр 3 нм для SEI; 8 нм для анализа Сверла). Используя линзу конденсатора низкого отклонения (в котором суперизложены электростатическая область и магнитное поле), объединенный с запатентованным оружием эмиссии области Schottky "в линзе", JAMP-9500F получает очень маленькие размеры пятна с потоками луча до 200nA.



электронный спектрометр - электростатический полусферический анализатор (HSA) с многоканальным датчиком, и был оптимально разработан для анализа Сверла. Это обеспечивает чрезвычайную энергетическую резолюцию, не жертвуя чувствительностью.

С JAMP-9500F, высокая разрешающая способность отображение SEM возможно так же как анализ Сверла изображения и анализ профиля линии. Кроме того, анализ профиля глубины может быть выполнен во время ионного травления.

JAMP-9500F показывает высокоэффективное оружие иона для скоростного бормотания и низкой энергетической нейтрализации обвинения. Легкий в использовании и легко управляемый, JAMP-9500F также предлагает гибкость дополнительных аналитических функций, таких как РЕДАКТОРЫ, SIMS и XPS.

Особенности

- резолюция SEI на 3 нм
- диаметр исследования на 8 нм для анализа Сверла
- Переменная энергетическая резолюция от 0.05 % до 0.6 %
- анализа Химического состояния в нескольких областях на 10 нм
- Нейтрализация оружия позволяет анализ Сверла изоляционных материалов
- Большую стадию экземпляра - образцы до 95 мм в диаметре