Эллипсометра

PHE101M - многоволновый ellipsometer. Клиент может выбрать различные длины волны из УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО, ВИСА или диапазона NIR (до 5 длин волны). У PHE101M есть все особенности, которые имеет PHE101.

PHE101M - идеальная дискретная длина волны ellipsometer разработанный для того, чтобы измерить показатель преломления и толщину единственных и многослойных фильмов в нескольких длинах волны. У этого есть самый широкий переменный угол (20-90 °), который приспосабливаем в шагах 5°s, с точностью до 0.01 °. (Как выбор, угол падения может быть различен непрерывно.)

стандартная длина волны PHE101M - лазер HeNe в 632.8 нм. Длина волны может быть отобрана комбинацией 543 нм, 594 нм, 612 нм, 635 нм к 1164 нм. Инфракрасные источники в 0.83, 1.31 и 1.52 мм также доступны.

PHE101 очень удобен и может быть оборудован нашим новым лазерным инструментом выравнивания, который очень улучшает непринужденность использования и скорость операции когда по сравнению с обычным методом выравнивания.


Особенности
Пять максимальных расширенных длин волны
Авто длина волны изменения для легкой операции
Превосходная точность и повторение
Быстро вращающаяся операция анализатора
Сильное программное обеспечение с библиотекой материалов
Второй лазер используется, чтобы сделать выравнивание самым удобным и точность
Самый широкий переменный угол 20-90 °
, Автофокус дает компенсацию за типовую топографию и некоаксиальность 'поклона' вафли
Высокой стабильности и воспроизводимости взвешенного угла лучше чем 0.01 ° Превосходной точности и повторение