Полуавтоматическая машина пластины инспекции

Проформа 200SA является полуавтоматической системой измерения толщины и для полупроводящих и для полуизолирующих материалов вафли. Построенный вокруг исключительной Двухтактной технологии емкости Инструментов MTI, Проформа 200SA поставляет полную поверхность вафли, просматривающую в прессе кнопки. Пользователь определил и образцы просмотра АМЕРИКАНСКОГО ОБЩЕСТВА ПО ИСПЫТАНИЮ МАТЕРИАЛОВ / ПОЛУ образцы просмотра используются, чтобы произвести полное 3-мерное изображение вафли.

стандартный пользовательский интерфейс Windows® делает Проформу 200SA удобной и установка. Каждый параметр измерения и машины является выбираемым из списка стандартных вариантов. У программного обеспечения контроля есть три уровня безопасности от производственной среды до полного технического анализа геометрии вафли. Настроенные отчеты о данных, так же как способность экспортировать данные об измерении в любую крупноформатную таблицу добавляют способность соответствовать Проформе 200SA к Вашим потребностям процесса.

Технические требования Вафли

* Диаметр: 75 мм, 100 мм, 125 мм, 150 мм, 200 мм
* Материал: Все Полупроведение и Полуизолирование включая Си, GaAs, InP Ge, SiC
* Поверхности: как - сокращение, Сложенное, Запечатленное, Полируемое, Шаблонное
* Квартира/Метка: Вся ПОЛУ Стандартная Квартира (ы) или Метка
* Проводимость: P или Тип N
* установка Вафли: Голая Вафля, Основа Сапфира/Кварца, Лента

Измерения

* Толщина и TTV
* Поклон
* Деформация
* Место и Глобальная Плоскостность