Оптический датчик для измерения плоскостности поверхности

Corning Tropel Corporation проектировала UltraFlat 200 Систем Маски определенно для промышленности фотомаски. Это поставляет самую низкую неуверенность измерения для когда-либо напрягающихся технических требований плоскостности маски. Особенности устройства сокращения требуют не только более плоских вафель, но и льстят маскам.

система UltraFlat используется, чтобы измерить плоскостность фотобланков и фотомасок всюду по каждой стадии производства и использования, включения, полировки основания, покрытия и копирования, чтобы проанализировать напряжение фильма, и проверку.

система UltraFlat использует почти нормальную интерферометрию уровня, горное тело структурный дизайн, современные оптические методы фальсификации и известная фаза Тропеля, перемещающая аналитическое программное обеспечение, чтобы поставить неуверенность измерения на 20 миллимикронов.

система NIST прослеживаемый и обеспечивает измерения, которые соответствуют ПОЛУ стандартам. Автоматизированная конфигурация обработки и измерения фотомаски также доступна.