Время-разрешенной фотолюминесценции (ЛС) анализатор для полупроводниковых пластин

WaferCheck 150 систем является полной и удобной в работе системой для Решенной временем Фотолюминесценции (TRPL) измерения. TRPL - очень мощный инструмент для контакта свободная характеристика и исследование материалов полупроводника. Это является неразрушающим и вовлекает только свет как исследование. Это может использоваться для всего от сырья до незавершенных промежуточных звеньев к законченным устройствам. Эти способности квалифицируют TRPL как ценный аналитический инструмент для исследования, тестирования и качества control.manual вращающийся стол для осмотра вафли

, применение TRPL в промышленности полупроводника сосредоточено, главным образом, на измерении и идентификации показателей перекомбинации электронного отверстия. Отрезок времени фотовзволнованная авиакомпания может остаться в проводимости (или валентность) группой, является важным параметром, непосредственно связанным с материальным качеством и работой устройства. Ценность распада целой жизни флюоресценции - индикатор для того, чтобы характеризовать материалы полупроводника для использования в например, фотогальванических устройствах (солнечные батареи), фотодатчики, LEDs, и т.д.

, WaferCheck 150 разработан для вафель на 10 см (другие размеры по запросу), которые помещены во вручную способный вращаться стол, который позволяет иметь размеры в различных пятнах вафли. Системное использование миниатюризированная пикосекунда пульсировало источники света наряду с электроникой для того, чтобы сделать запись распадов флюоресценции посредством Коррелированного временем Единственного Фотона, считая (TCSPC). Эмиссия флюоресценции спектрально фильтрована различными высококачественными фильтрами.